Elektron təmizlik otağı əsasən yarımkeçiricilərdə, maye kristal displeylərdə, dövrə lövhələrində və s. istifadə olunur. Ümumiyyətlə, buraya təmiz istehsal sahəsi, təmiz köməkçi sahə, inzibati sahə və avadanlıq sahəsi daxildir. Elektron təmizlik otağının təmizlik səviyyəsi elektron məhsulun keyfiyyətinə çox birbaşa təsir göstərir. Adətən hər bir sahənin müəyyən hava təmizliyinə nail ola bilməsi və qapalı mühitdə sabit temperatur və nisbi rütubət saxlaya bilməsi üçün müvafiq mövqelərdə müxtəlif filtrasiya və təmizləmə yolu ilə hava təchizatı sistemindən və FFU-dan istifadə olunur.
Nümunə olaraq elektron təmizlik otaqlarımızdan birini götürək. (Çin, 8000 m2, ISO 5)
