Hissəciklərə ciddi nəzarət etməklə yanaşı, çip istehsal emalatxanaları, inteqral sxem tozsuz emalatxanaları və disk istehsal emalatxanaları ilə təmsil olunan elektron təmiz otaqlarda da temperatur və rütubətə nəzarət, işıqlandırma və mikro şok üçün daha sərt tələblər mövcuddur. Ətraf mühitin təmiz mühitdə elektron məhsulların istehsal prosesi tələblərinə cavab verə bilməsi üçün istehsal məhsullarına statik elektrik enerjisinin təsirini ciddi şəkildə aradan qaldırın.
Elektron təmiz otağın temperaturu və rütubəti istehsal prosesinin tələblərinə uyğun olaraq müəyyən edilməlidir. İstehsal prosesi üçün xüsusi tələblər olmadıqda, temperatur 20-26°C, nisbi rütubət isə 30%-70% ola bilər. Personal təmiz otağının və qonaq otağının temperaturu 16-28℃ ola bilər. Beynəlxalq ISO standartlarına uyğun olan Çin milli GB-50073 standartına əsasən, bu tip təmiz otağın təmizlik səviyyəsi 1-9-dur. Bunlardan 1-5 sinifləri arasında hava axını nümunəsi bir istiqamətli axın və ya qarışıq axındır; 6 sinif hava axını nümunəsi bir istiqamətli olmayan axındır və hava dəyişikliyi saatda 50-60 dəfədir; 7 sinif hava axını növü bir istiqamətli olmayan axındır və hava dəyişikliyi saatda 15-25 dəfədir; 8-9 sinif hava axını növü bir istiqamətli olmayan axındır, hava dəyişikliyi saatda 10-15 dəfədir.
Mövcud spesifikasiyalara görə, 10.000 sinif elektron təmizlik otağındakı səs-küy səviyyəsi 65dB(A)-dan çox olmamalıdır.
1. Elektron təmiz otaqda şaquli axın təmiz otağının tam nisbəti 60%-dən, üfüqi biristiqamətli axın təmiz otağının nisbəti isə 40%-dən az olmamalıdır, əks halda qismən biristiqamətli axın olacaq.
2. Elektron təmiz otaqla açıq hava arasındakı statik təzyiq fərqi 10Pa-dan, təmiz sahələrlə fərqli hava təmizliyinə malik qeyri-təmiz sahələr arasındakı statik təzyiq fərqi isə 5Pa-dan az olmamalıdır.
3. 10000 sinif elektron təmizlik otağındakı təmiz hava miqdarı aşağıdakı iki elementin dəyərini almalıdır.
4. Daxili müsbət təzyiq dəyərini qorumaq üçün tələb olunan qapalı məkanın işlənmiş hava həcminin və təmiz hava həcminin cəmini kompensasiya edin.
5. Təmiz otağa saatda adambaşına verilən təmiz hava miqdarının 40 kvadrat metrdən az olmamasını təmin edin.
Yazı vaxtı: 08 Aprel 2024