Xüsusilə dumanlı hava şəraitinin artması ilə ətraf mühitin mühafizəsinə daha çox diqqət yetirilir. Təmiz otaq mühəndisliyi ətraf mühitin mühafizəsi tədbirlərindən biridir. Ətraf mühitin mühafizəsində yaxşı bir iş görmək üçün təmiz otaq mühəndisliyindən necə istifadə etmək olar? Təmiz otaq mühəndisliyində nəzarət haqqında danışaq.
Təmiz otaqda temperatur və rütubətə nəzarət
Təmiz yerlərin temperaturu və rütubəti əsasən proses tələbləri əsasında müəyyən edilir, lakin proses tələblərinə cavab verərkən insan rahatlığı nəzərə alınmalıdır. Havanın təmizliyinə dair tələblərin təkmilləşdirilməsi ilə prosesdə temperatur və rütubət üçün daha sərt tələblər tendensiyası müşahidə olunur.
Ümumi prinsip olaraq, emalın artan dəqiqliyi ilə əlaqədar olaraq, temperaturun dəyişmə diapazonuna olan tələblər getdikcə daha kiçik olur. Məsələn, geniş miqyaslı inteqral sxem istehsalının litoqrafiya və ekspozisiya prosesində, maska materialları kimi istifadə edilən şüşə və silikon vaflilər arasında istilik genişlənmə əmsalı fərqi getdikcə kiçik olur.
100 μ m diametrli silikon vafli temperatur 1 dərəcə yüksəldikdə 0,24 μ m xətti genişlənməyə səbəb olur. Buna görə, ± 0,1 ℃ sabit bir temperatur lazımdır və rütubətin dəyəri ümumiyyətlə aşağıdır, çünki tərləmədən sonra məhsul xüsusilə natriumdan qorxan yarımkeçirici emalatxanalarda çirklənəcəkdir. Bu tip atelye 25℃-dən çox olmamalıdır.
Həddindən artıq rütubət daha çox problemə səbəb olur. Nisbi rütubət 55% -dən çox olduqda, soyuducu su borusunun divarında kondensasiya yaranacaq. Dəqiq cihazlarda və ya sxemlərdə baş verərsə, müxtəlif qəzalara səbəb ola bilər. Nisbi rütubət 50% olduqda, paslanmaq asandır. Bundan əlavə, rütubət çox yüksək olduqda, silisium vaflinin səthinə yapışan toz, havadakı su molekulları vasitəsilə səthə kimyəvi adsorbsiya ediləcək və onu çıxarmaq çətindir.
Nisbi rütubət nə qədər yüksək olarsa, yapışmanı aradan qaldırmaq bir o qədər çətindir. Lakin nisbi rütubət 30%-dən aşağı olduqda, hissəciklər də elektrostatik qüvvənin təsiri ilə səthə asanlıqla adsorbsiya olunur və çoxlu sayda yarımkeçirici qurğular xarab olmağa meyllidir. Silikon vafli istehsalı üçün optimal temperatur diapazonu 35-45% təşkil edir.
Hava təzyiqinəzarəttəmiz otaqda
Əksər təmiz məkanlar üçün xarici çirklənmənin zəbt edilməsinin qarşısını almaq üçün daxili təzyiqi (statik təzyiq) xarici təzyiqdən (statik təzyiq) daha yüksək saxlamaq lazımdır. Təzyiq fərqinin saxlanması ümumiyyətlə aşağıdakı prinsiplərə uyğun olmalıdır:
1. Təmiz yerlərdə təzyiq təmiz olmayan yerlərdəkindən yüksək olmalıdır.
2. Təmizlik səviyyəsi yüksək olan otaqlardakı təzyiq, aşağı təmizlik səviyyəsinə malik olan bitişik otaqlardakı təzyiqdən daha yüksək olmalıdır.
3. Təmiz otaqlar arasındakı qapılar təmizlik səviyyəsi yüksək olan otaqlara açılmalıdır.
Təzyiq fərqinin saxlanılması təmiz havanın miqdarından asılıdır, bu təzyiq fərqi altında boşluqdan hava sızmasını kompensasiya edə bilməlidir. Beləliklə, təzyiq fərqinin fiziki mənası təmiz otaqda müxtəlif boşluqlar vasitəsilə sızma (və ya infiltrasiya) hava axınının müqavimətidir.
Göndərmə vaxtı: 21 iyul 2023-cü il