Ətraf mühitin qorunmasına, xüsusən də dumanlı hava şəraitinin artması ilə getdikcə daha çox diqqət yetirilir. Təmiz otaq mühəndisliyi ətraf mühitin mühafizəsi tədbirlərindən biridir. Ətraf mühitin mühafizəsində yaxşı iş görmək üçün təmiz otaq mühəndisliyindən necə istifadə etmək olar? Gəlin təmiz otaq mühəndisliyindəki nəzarətdən danışaq.
Təmiz otaqda temperatur və rütubətə nəzarət
Təmiz məkanların temperaturu və rütubəti əsasən proses tələblərinə əsasən müəyyən edilir, lakin proses tələblərinə cavab verərkən insan rahatlığı nəzərə alınmalıdır. Hava təmizliyi tələblərinin yaxşılaşması ilə prosesdə temperatur və rütubət üçün daha sərt tələblər meyli müşahidə olunur.
Ümumi prinsip olaraq, emalın artan dəqiqliyi səbəbindən temperatur dalğalanma diapazonuna olan tələblər getdikcə azalır. Məsələn, genişmiqyaslı inteqral dövrə istehsalının litoqrafiyası və ekspozisiya prosesində maska materialları kimi istifadə olunan şüşə və silikon lövhələr arasında istilik genişlənmə əmsalındakı fərq getdikcə azalır.
Diametri 100 μm olan silikon lövhə, temperatur 1 dərəcə artdıqda 0,24 μm xətti genişlənməyə səbəb olur. Buna görə də, ± 0,1 ℃ sabit bir temperatur tələb olunur və rütubət dəyəri ümumiyyətlə aşağıdır, çünki tərləmədən sonra məhsul çirklənəcək, xüsusən də natriumdan qorxan yarımkeçirici emalatxanalarda. Bu tip emalatxanalar 25 ℃-dən çox olmamalıdır.
Həddindən artıq rütubət daha çox problemə səbəb olur. Nisbi rütubət 55%-i keçdikdə, soyutma su borusunun divarında kondensasiya əmələ gələcək. Əgər bu, dəqiq cihazlarda və ya dövrələrdə baş verərsə, müxtəlif qəzalara səbəb ola bilər. Nisbi rütubət 50% olduqda, paslanma asandır. Bundan əlavə, rütubət çox yüksək olduqda, silikon lövhənin səthinə yapışan toz havadakı su molekulları vasitəsilə səthdə kimyəvi olaraq adsorbsiya olunacaq və bu da təmizlənməsi çətindir.
Nisbi rütubət nə qədər yüksəkdirsə, yapışmanı aradan qaldırmaq bir o qədər çətindir. Lakin, nisbi rütubət 30%-dən aşağı olduqda, hissəciklər də elektrostatik qüvvənin təsiri nəticəsində səthdə asanlıqla adsorbsiya olunur və çox sayda yarımkeçirici cihaz parçalanmağa meyllidir. Silisium lövhə istehsalı üçün optimal temperatur diapazonu 35-45% -dir.
Hava təzyiqinəzarəttəmiz otaqda
Əksər təmiz məkanlar üçün xarici çirklənmənin qarşısını almaq üçün daxili təzyiqi (statik təzyiq) xarici təzyiqdən (statik təzyiq) yüksək saxlamaq lazımdır. Təzyiq fərqinin saxlanılması ümumiyyətlə aşağıdakı prinsiplərə uyğun olmalıdır:
1. Təmiz məkanlardakı təzyiq təmiz olmayan məkanlardakından daha yüksək olmalıdır.
2. Təmizlik səviyyəsi yüksək olan məkanlardakı təzyiq, təmizlik səviyyəsi aşağı olan qonşu məkanlardakından daha yüksək olmalıdır.
3. Təmiz otaqlar arasındakı qapılar yüksək təmizlik səviyyəsi olan otaqlara açılmalıdır.
Təzyiq fərqinin qorunması təmiz havanın miqdarından asılıdır və bu təzyiq fərqi altındakı boşluqdan hava sızmasını kompensasiya edə bilməlidir. Beləliklə, təzyiq fərqinin fiziki mənası təmiz otaqda müxtəlif boşluqlardan hava axınının sızmasına (və ya infiltrasiyasına) müqavimətdir.
Yazı vaxtı: 21 iyul 2023