Ətraf mühitin qorunması, xüsusən hazil havasının artması ilə daha çox diqqət yetirilir. Təmiz otaq mühəndisliyi ətraf mühitin qorunması tədbirlərindən biridir. Ətraf mühitin qorunmasında yaxşı bir iş görmək üçün təmiz otaq mühəndisliyindən necə istifadə olunur? Təmiz otaq mühəndisliyindəki nəzarət haqqında danışaq.
Təmiz otaqda temperatur və rütubət nəzarəti
Təmiz boşluqların temperaturu və rütubəti əsasən proses tələblərinə əsasən müəyyən edilir, lakin proses tələblərinə cavab verərkən insan rahatlığı nəzərə alınmalıdır. Hava təmizliyinin tələblərinin yaxşılaşdırılması ilə prosesdə temperatur və rütubət üçün sərt tələblərin tendensiyası mövcuddur.
Ümumi bir prinsip olaraq, emalın artırılması səbəbindən, temperaturun dalğalanma diapazonuna olan tələblər daha da kiçik və daha kiçik olur. Məsələn, litoqrafiya və geniş miqyaslı birləşmiş dövrə istehsalının litoqrafiyasında və məruz qalma prosesində, maska materialları kimi istifadə olunan şüşə və silikon gofretlər arasında istilik genişləndirmə əmsalının fərqi getdikcə daha da kiçik hala gəlir.
100 μ m diametri olan bir silikon vafi, temperatur 1 dərəcəyə qədər yüksəldikdə 0,24 μ m olan xətti genişlənməyə səbəb olur. Buna görə də, davamlı bir temperatur ± 0,1 ℃ zəruridir və rütubət dəyəri ümumiyyətlə aşağıdır, çünki tərləmədən sonra məhsul çirklənəcək, xüsusən natriumdan qorxmayan yarımkeçirici seminarlarda çirklənəcəkdir. Bu tip seminar 25 ℃ -dən çox olmamalıdır.
Həddindən artıq rütubət daha çox problem yaradır. Nisbi rütubət 55% -i keçdikdə, soyuducu su kəməri divarında kondensasiya meydana gələcəkdir. Həssas cihazlarda və ya dövrələrdə baş verərsə, müxtəlif qəzalara səbəb ola bilər. Nisbi rütubət 50% olduqda, paslamaq asandır. Bundan əlavə, rütubət çox yüksək olduqda, silikon vafkarının səthinə yapışan toz, havada silmək çətin olan su molekulları vasitəsilə kimyəvi olaraq səthə adlandırılacaqdır.
Nisbi rütubət nə qədər yüksəkdirsə, bu, yapışqanı çıxarmaq daha çətindir. Ancaq nisbi rütubət 30% -dən aşağı olduqda, hissəciklər də elektrostatik gücün hərəkəti səbəbindən səthə asanlıqla adlandırılır və çox sayda yarımkeçirici qurğu pozulmağa meyllidir. Silikon vafli istehsalı üçün optimal temperatur çeşidi 35-45% -dir.
Hava təzyiqinəzarətTəmiz otaqda
Ən çox təmiz boşluqlar üçün, xarici çirklənmənin işğaldan çıxmasının qarşısını almaq üçün daxili təzyiqdən (statik təzyiqdən) daha yüksək daxili təzyiq (statik təzyiq) qorumaq lazımdır. Təzyiq fərqinin qorunması ümumiyyətlə aşağıdakı prinsiplərə uyğun olmalıdır:
1. Təmiz boşluqdakı təzyiq, təmiz boşluqlarda bundan daha yüksək olmalıdır.
2. Yüksək təmizlik səviyyəsi olan boşluqdakı təzyiq, aşağı təmizlik səviyyəsi olan bitişik məkanlarda bundan yüksək olmalıdır.
3. Təmiz otaqlar arasındakı qapılar yüksək təmizlik səviyyəsi olan otaqlara doğru açılmalıdır.
Təzyiq fərqinin qorunması, bu təzyiq fərqində boşluqdan hava sızmasının kompensasiya edə biləcək təmiz havanın miqdarından asılıdır. Beləliklə, təzyiq fərqinin fiziki mənası, təmiz otaqdakı müxtəlif boşluqlar vasitəsilə sızma (və ya infiltrasiya) hava axınının müqavimətidir.
Time vaxt: İyul-21-2023