IC istehsal sənayesində çipin məhsuldarlıq dərəcəsi çipdə yerləşdirilən hava hissəciklərinin ölçüsü və sayı ilə sıx bağlıdır. Yaxşı hava axınının təşkili təmiz otağın təmizliyini təmin etmək üçün toz mənbəyinin yaratdığı hissəcikləri təmiz otaqdan uzaqlaşdıra bilər, yəni təmiz otaqda hava axınının təşkili IC istehsalının məhsuldarlığında mühüm rol oynayır. Təmiz otaqda hava axınının təşkilinin dizaynı aşağıdakı məqsədlərə nail olmalıdır: zərərli hissəciklərin tutulmaması üçün axın sahəsində burulğan cərəyanını azaltmaq və ya aradan qaldırmaq; çarpaz çirklənmənin qarşısını almaq üçün müvafiq müsbət təzyiq gradientini qoruyun.
Hava axını gücü
Təmiz otaq prinsipinə əsasən hissəciklərə təsir edən qüvvələrə kütlə qüvvəsi, molekulyar qüvvə, hissəciklər arasında cazibə qüvvəsi, hava axını qüvvəsi və s.
Hava axını qüvvəsi: hissəcikləri daşımaq üçün çatdırılma, geri dönən hava axını, termal konveksiya hava axını, süni qarışdırma və müəyyən bir axın sürətinə malik digər hava axınlarının yaratdığı hava axınının qüvvəsinə aiddir. Təmiz otaq mühitinə texniki nəzarət üçün hava axınının gücü ən vacib amildir.
Təcrübələr göstərdi ki, hava axınının hərəkətində hissəciklər hava axınının hərəkətini demək olar ki, eyni sürətlə izləyirlər. Havadakı hissəciklərin vəziyyəti hava axınının paylanması ilə müəyyən edilir. Daxili hissəciklərə təsir edən hava axınlarına əsasən aşağıdakılar daxildir: hava təchizatı hava axını (ilkin hava axını və ikincil hava axını daxil olmaqla), insanların yeriməsi nəticəsində yaranan hava axını və termal konveksiya hava axını və texnoloji əməliyyat və sənaye avadanlığı nəticəsində yaranan hava axını. Müxtəlif hava tədarükü üsulları, sürət interfeysləri, operatorlar və sənaye avadanlığı və təmiz otaqlarda yaranan hadisələr təmizlik səviyyəsinə təsir edən amillərdir.
Hava axınının təşkilinə təsir edən amillər
1. Hava təchizatı metodunun təsiri
(1). Hava təchizatı sürəti
Vahid hava axını təmin etmək üçün bir istiqamətli təmiz otaqda hava təchizatı sürəti vahid olmalıdır; hava təchizatı səthinin ölü zonası kiçik olmalıdır; və ULPA-da təzyiq düşməsi də vahid olmalıdır.
Vahid hava tədarükü sürəti: yəni hava axınının qeyri-bərabərliyi ±20% daxilində idarə olunur.
Hava təchizatı səthində daha az ölü zona: yalnız ULPA çərçivəsinin müstəvi sahəsi azaldılmamalı, daha da əhəmiyyətlisi, lazımsız çərçivəni sadələşdirmək üçün modul FFU qəbul edilməlidir.
Şaquli bir istiqamətli hava axını təmin etmək üçün filtrdə təzyiq itkisinin kənara çıxmamasını tələb edən filtrin təzyiq düşməsi seçimi də çox vacibdir.
(2). FFU sistemi və eksenel axın fan sistemi arasında müqayisə
FFU ventilyatoru və filtri (ULPA) olan hava təchizatı qurğusudur. Hava FFU-nun mərkəzdənqaçma ventilyatoru tərəfindən sorulduqdan sonra dinamik təzyiq hava kanalında statik təzyiqə çevrilir və ULPA tərəfindən bərabər şəkildə üfürülür. Tavandakı hava təchizatı təzyiqi mənfi təzyiqdir, beləliklə filtr dəyişdirildikdə təmiz otağa toz sızmayacaq. Təcrübələr göstərdi ki, FFU sistemi hava çıxışının vahidliyi, hava axınının paralelliyi və ventilyasiya səmərəliliyi indeksi baxımından eksenel axın ventilyator sistemindən üstündür. Bunun səbəbi, FFU sisteminin hava axını paralelliyinin daha yaxşı olmasıdır. FFU sisteminin istifadəsi təmiz otaqda hava axınını daha yaxşı təşkil edə bilər.
(3). FFU-nun öz strukturunun təsiri
FFU əsasən ventilyatorlardan, filtrlərdən, hava axını istiqamətləndirici cihazlardan və digər komponentlərdən ibarətdir. Ultra yüksək effektiv filtr ULPA təmiz otağın dizaynın tələb olunan təmizliyinə nail olub-olmaması üçün ən vacib zəmanətdir. Süzgəcin materialı da axın sahəsinin vahidliyinə təsir edəcək. Süzgəc çıxışına qaba filtr materialı və ya laminar axın lövhəsi əlavə edildikdə, çıxış axını sahəsi asanlıqla vahid hala gətirilə bilər.
2. Təmizliyin müxtəlif sürət interfeyslərinin təsiri
Eyni təmiz otaqda, iş sahəsi ilə şaquli bir istiqamətli axının işləməyən sahəsi arasında, ULPA çıxışında hava sürətindəki fərqə görə, interfeysdə qarışıq burulğan effekti yaranacaq və bu interfeys xüsusilə yüksək hava turbulentliyi intensivliyi ilə turbulent hava axını zonasına çevriləcəkdir. Hissəciklər avadanlığın səthinə keçə bilər və avadanlıq və vafliləri çirkləndirə bilər.
3. Heyət və avadanlıqların təsiri
Təmiz otaq boş olduqda, otaqda hava axını xüsusiyyətləri ümumiyyətlə dizayn tələblərinə cavab verir. Avadanlıq təmiz otağa daxil olduqdan, personalın hərəkəti və məhsulların ötürülməsindən sonra hava axınının təşkilində qaçılmaz maneələr yaranacaq. Məsələn, avadanlığın çıxıntılı künclərində və ya kənarlarında qaz turbulent zona əmələ gətirmək üçün yönləndiriləcək və zonadakı maye qaz tərəfindən asanlıqla daşınmayacaq və bununla da çirklənməyə səbəb olacaqdır. Eyni zamanda, fasiləsiz işləmə səbəbindən avadanlığın səthi qızacaq və temperatur qradiyenti maşının yaxınlığında reflow zonasına səbəb olacaq ki, bu da reflow zonasında hissəciklərin yığılmasını artıracaq. Eyni zamanda, yüksək temperatur hissəciklərin asanlıqla çıxmasına səbəb olacaqdır. İkili təsir ümumi şaquli laminar təmizliyə nəzarət etmək çətinliyini artırır. Təmiz otaqdakı operatorların tozunu bu reflow zonalarında vaflilərə yapışdırmaq çox asandır.
4. Qayıdış havasının döşəməsinin təsiri
Döşəmədən keçən geri dönən havanın müqaviməti fərqli olduqda, təzyiq fərqi yaranacaq ki, hava daha az müqavimət istiqamətində axacaq və vahid hava axını əldə edilməyəcəkdir. Hazırkı məşhur dizayn üsulu yüksək mərtəbələrdən istifadə etməkdir. Yüksək mərtəbələrin açılış dərəcəsi 10% olduqda, otağın iş hündürlüyündə hava axınının sürəti bərabər paylana bilər. Bundan əlavə, döşəmənin çirklənmə mənbəyini azaltmaq üçün təmizlik işlərinə ciddi diqqət yetirilməlidir.
5. İnduksiya hadisəsi
Sözdə induksiya fenomeni, vahid axının əks istiqamətində hava axınının əmələ gəlməsi və otaqda yaranan tozun və ya bitişik çirklənmiş ərazidəki tozun küləkdən yuxarı tərəfə induksiya edilməsi hadisəsinə aiddir, beləliklə, toz çipi çirkləndirə bilər. Aşağıdakılar mümkün induksiya hadisələridir:
(1). Kor boşqab
Şaquli bir istiqamətli axını olan təmiz bir otaqda, divardakı birləşmələrə görə, ümumiyyətlə yerli geri axınında turbulentlik yaradacaq böyük kor plitələr var.
(2). Lampalar
Təmiz otaqda işıqlandırma qurğuları daha çox təsir edəcək. Floresan lampaların istiliyi hava axınının yüksəlməsinə səbəb olduğundan, flüoresan lampaların altında heç bir turbulent sahə olmayacaqdır. Ümumiyyətlə, təmiz otaqdakı lampalar, lampaların hava axınının təşkilinə təsirini azaltmaq üçün gözyaşardıcı formada hazırlanmışdır.
(3.) Divarlar arasında boşluqlar
Müxtəlif təmizlik səviyyələrinə malik arakəsmələr və ya arakəsmələr və tavanlar arasında boşluqlar olduqda, aşağı təmizlik tələbləri olan ərazidən toz yüksək təmizlik tələbləri olan bitişik əraziyə ötürülə bilər.
(4). Maşın ilə döşəmə və ya divar arasındakı məsafə
Maşın və döşəmə və ya divar arasındakı boşluq çox kiçikdirsə, bu, geri dönmə turbulentliyinə səbəb olacaqdır. Buna görə də, avadanlıq və divar arasında boşluq buraxın və maşının yerə birbaşa toxunmasına icazə verməmək üçün maşını qaldırın.
Göndərmə vaxtı: 05 fevral 2025-ci il