IC istehsal sənayesində çip məhsuldarlıq dərəcəsi çipdə saxlanılan hava hissəciklərinin ölçüsü və sayı ilə sıx bağlıdır. Yaxşı bir hava axını Təmiz otağın təmiz otağının təmizliyini təmin etmək üçün təmiz otaqdan təmiz otaqdan yaranan hissəcikləri çəkə bilər, yəni təmiz otaqda hava axını təşkilatı IC istehsalının məhsuldarlıq dərəcəsində həyati rol oynayır. Təmiz otaqda hava axını təşkilatının dizaynı aşağıdakı məqsədlərə nail olmaq lazımdır: zərərli hissəciklərin tutulmaması üçün axın sahəsindəki kəskin cərəyanını azaltmaq və ya aradan qaldırmaq; Xaç çirklənməsinin qarşısını almaq üçün uyğun müsbət təzyiq gradientini qorumaq.
Aviason qüvvəsi
Təmiz otaq prinsipinə görə, hissəciklər üzərində hərəkət edən qüvvələr kütləvi qüvvə, molekulyar güc, hissəciklər, hava axını qüvvəsi və s. Arasında cazibə daxildir.
Hava axınının qüvvəsi: Çatdırılma, Qayıdış hava axını, istilik konvekti hava axını, süni qarışdırma, süni qarışdırma və hissəcikləri daşımaq üçün müəyyən bir axın sürəti ilə digər hava axını. Təmiz otaq mühitinin texniki nəzarəti üçün hava axını qüvvəsi ən vacib amildir.
Təcrübələr, hava axınının hərəkətində, hissəciklərin hava axınının hərəkətini demək olar ki, eyni sürətlə izləyir. Havadakı hissəciklərin vəziyyəti hava axını paylanması ilə müəyyən edilir. Bağlı hissəciklərə təsir edən hava axınları əsasən: hava təchizatı hava axını (ilkin hava axını və ikincil hava axını da daxil olmaqla), hava axını və istilik konveksiya hava axını və prosesin istismarı və sənaye avadanlıqları səbəb olduğu hava axını. Müxtəlif hava təchizatı metodları, sürət interfeysləri, operatorlar və sənaye avadanlığı və təmiz otaqlarda olan hadisələr təmizlik səviyyəsinə təsir edən bütün amillərdir.
Hava axını təşkilinə təsir edən amillər
1. Hava təchizatı metodunun təsiri
(1). Hava təchizatı sürəti
Vahid hava axını təmin etmək üçün hava təchizatı sürəti birtərəfli təmiz otaqda vahid olmalıdır; Hava təchizatı səthinin ölü zonası kiçik olmalıdır; Ulçandakı təzyiq düşməsi də vahid olmalıdır.
Vahid hava təchizatı sürəti: yəni hava axınının qeyri-bərabərliyi ± 20% arasında idarə olunur.
Hava təchizatı səthindəki daha az ölü zona: Olsun ki, ulpa çərçivəsinin təyyarə sahəsi azaldılmalıdır, lakin daha da əhəmiyyətlisi, lazımsız çərçivəni sadələşdirmək üçün modul FFU qəbul edilməlidir.
Şaquli bir örtüklü hava axını təmin etmək üçün filtrin təzyiqinin azaldılması da çox vacibdir, filtrdəki təzyiq itkisinin sürüşməsinin tələb olunmasını tələb edir.
(2). FFU sistemi və eksenel axın fan sistemi arasında müqayisə
FFU, bir fan və filtr (ulpa) olan bir hava təchizatı bölməsidir. Hava FFU-nun mərkəzdənqaçma fanatı tərəfindən əmr edildikdən sonra dinamik təzyiq hava kanalında statik təzyiqə çevrilir və bir bərabər şəkildə Ullow tərəfindən partladı. Tavana hava təchizatı təzyiqi mənfi təzyiqdir, buna görə filtr dəyişdirildikdə tozun təmiz otağa sızmasıdır. Təcrübələr, FFU sisteminin, hava axını vahidliyi, hava axını paralelliyi və havalandırma səmərəliliyi indeksi baxımından eksenel axın fan sistemindən üstün olduğunu göstərdi. Bunun səbəbi, FFU sisteminin hava axını paralelizmi daha yaxşıdır. FFU sisteminin istifadəsi təmiz otaqda daha yaxşı təşkil olunan hava axını edə bilər.
(3). FFU-nun öz quruluşunun təsiri
FFU əsasən azarkeşlər, filtrlər, hava axını bələdçi cihazlarından və digər komponentlərdən ibarətdir. Ultra yüksək effektivlik filtri ulpa, təmiz otağın dizaynın tələb olunan təmizliyinə nail olacağı üçün ən vacib zəmanətlidir. Filtrin materialı da axın sahəsinin vahidliyinə təsir edəcəkdir. Filtr otağına bir qaba filtr materialı və ya laminar axının boşqab əlavə edildikdə, Outlet axın sahəsi asanlıqla forma geyilə bilər.
2. Təmizlikdən fərqli sürət interfeyslərinin təsiri
Eyni təmiz otaqda, işçi sahəsi və şaquli birində işləməyən axın arasında, Ulpa Outletindəki hava sürətinin fərqi səbəbindən, interfeysdə qarışıq bir vortex effekti yaranacaq və bu interfeys bir halbulan olacaq Xüsusilə yüksək hava şəraiti olan hava axını zonası. Hissəciklər avadanlıqın səthinə ötürülə bilər və avadanlıq və gofreti çirkləndirə bilər.
3. İşçi heyəti və avadanlıqların təsiri
Təmiz otaq boş olduqda, otaqdakı hava axını xüsusiyyətləri ümumiyyətlə dizayn tələblərinə cavab verir. Avadanlıq təmiz otağa, personal hərəkət və məhsullar ötürüldükdən sonra, qaçılmaz olaraq hava axını təşkilatına maneə olacaqdır. Məsələn, avadanlıqların çıxan künclərində və ya kənarlarında qazın sürtkü zonası meydana gəlməsi üçün qaz ayrılacaq və zonadakı maye qazın asanlıqla aparılmadığı və bununla da çirklənməyə səbəb olur. Eyni zamanda, avadanlıqların səthi davamlı işləməyinə görə qızdırılacaq və temperatur gradient, əks olunan zonada hissəciklərin yığılmasını artıracaq bir dəzgahın yaxınlığına səbəb olacaqdır. Eyni zamanda, yüksək temperaturu asanlıqla hissəciklərin qaçmasına səbəb olacaqdır. İkiqat təsiri ümumi şaquli laminar təmizliyini idarə etməkdə çətinlik çəkir. Təmiz otaqdakı operatorlardan toz bu əks zonalardakı gofretlərə riayət etmək çox asandır.
4. Qayıdış Hava Döşəməsinin təsiri
Döşəmə havanın üstündən keçən hava şəraitinin müqaviməti fərqli olduqda, hava daha da müqavimət istiqamətində axacaq və vahid hava axını əldə edilməyəcəkdir. Mövcud populyar dizayn metodu yüksəlmiş mərtəbələrdən istifadə etməkdir. Yüksək mərtəbələrin açılış dərəcəsi 10%, otağın iş hündürlüyündə hava axını sürəti bərabər paylana bilər. Bundan əlavə, döşəmənin çirklənmə mənbəyini azaltmaq üçün təmizlik işlərinə ciddi diqqət yetirilməlidir.
5. induksiya fenomeni
Sözdə induksiya fenomeni, vahid axınının əks istiqamətindəki hava axınının yarandığı və ya bitişik çirklənmiş ərazidəki tozun yaranan tozun və ya tozun yanına qoyulduğu tozun səbəb olduğu təqdirdə çipi çirkləndirə bilər. Aşağıdakılar mümkün olan induksiya hadisələri:
(1). Korlayan
Divardakı oynaqlar səbəbindən şaquli birtərəfli axını olan təmiz bir otaqda, yerli qayıdış axınının içərisində turbulans yarada biləcək böyük bir kor plitələr var.
(2). Çıraqlar
Təmiz otaqdakı işıqlandırma qurğularının daha böyük təsir göstərəcəyi. Flüoresan lampaların istisində havanın yüksəlməsinə səbəb olandan bəri, flüoresan lampalar altında heç bir turbulent sahəsi olmayacaqdır. Ümumiyyətlə, təmiz otaqdakı lampalar, lampaların hava axını təşkilatına təsirini azaltmaq üçün gözyaşardıcı formada hazırlanmışdır.
(3.) divarlar arasındakı boşluqlar
Müxtəlif təmizlik səviyyələri və ya arakəsmə və tavanlar arasında arakəsmələr arasında boşluqlar olduqda, aşağı təmizlik tələbləri olan ərazidən toz yüksək təmizlik tələbləri olan qonşu ərazidə ötürülə bilər.
(4). Maşın və döşəmə və ya divar arasındakı məsafə
Maşın və döşəmə və ya divar arasındakı boşluq çox kiçikdirsə, bu, süründürməçiliyə səbəb olacaqdır. Buna görə də, avadanlıq və divar arasında bir boşluq qoyun və maşının birbaşa yerə toxunmasına imkan verməmək üçün maşını qaldırın.
Time vaxt: Fevral-05-2025