Çip istehsalı sənayesində çip məhsuldarlığı çipdə yerləşdirilən hava hissəciklərinin ölçüsü və sayı ilə sıx bağlıdır. Hava axınının yaxşı təşkili toz mənbələrindən yaranan hissəcikləri təmiz otaqdan uzaqlaşdıra və təmiz otağın təmizliyini təmin edə bilər. Yəni təmiz otaqda hava axınının təşkili çip istehsalının məhsuldarlığında mühüm rol oynayır. Təmiz otaqda hava axınının təşkilinin layihələndirilməsində əldə edilməli olan məqsədlər bunlardır: zərərli hissəciklərin saxlanmaması üçün axın sahəsində burulğan cərəyanlarını azaltmaq və ya aradan qaldırmaq; çarpaz çirklənmənin qarşısını almaq üçün müvafiq müsbət təzyiq gradientini saxlamaq.
Təmiz otaq prinsipinə əsasən hissəciklərə təsir edən qüvvələrə kütlə qüvvəsi, molekulyar qüvvə, hissəciklər arasında cazibə qüvvəsi, hava axını qüvvəsi və s.
Hava axını qüvvəsi: tədarük və geri hava axını, termal konveksiya hava axını, süni təşviqat və hissəcikləri daşımaq üçün müəyyən bir axın sürətinə malik digər hava axınlarının yaratdığı hava axınının qüvvəsinə aiddir. Təmiz otaq ətraf mühit texnologiyasına nəzarət üçün hava axınının gücü ən vacib amildir.
Təcrübələr göstərdi ki, hava axınının hərəkətində hissəciklər demək olar ki, eyni sürətlə hava axınını izləyirlər. Havadakı hissəciklərin vəziyyəti hava axınının paylanması ilə müəyyən edilir. Hava axınının qapalı hissəciklərə əsas təsirlərinə aşağıdakılar daxildir: hava tədarükü hava axını (ilkin hava axını və ikincil hava axını daxil olmaqla), insanların yeriməsi nəticəsində yaranan hava axını və termal konveksiya hava axını və hava axınının texnoloji əməliyyatlar və sənaye avadanlıqları nəticəsində yaranan hissəciklərə təsiri. Təmiz otaqlarda müxtəlif hava təchizatı üsulları, sürət interfeysləri, operatorlar və sənaye avadanlıqları, səbəb olan hadisələr və s. təmizlik səviyyəsinə təsir edən amillərdir.
1. Havanın verilməsi metodunun təsiri
(1) Hava təchizatı sürəti
Vahid hava axını təmin etmək üçün bir istiqamətli axın təmiz otaqda havanın verilməsi sürəti vahid olmalıdır; hava təchizatı səthindəki ölü zona kiçik olmalıdır; və hepa filtr daxilində təzyiq düşməsi də vahid olmalıdır.
Hava təchizatı sürəti vahiddir: yəni hava axınının qeyri-bərabərliyi ±20% daxilində idarə olunur.
Hava təchizatı səthində daha az ölü yer var: yalnız hepa çərçivəsinin müstəvi sahəsini azaltmaq lazım deyil, daha da əhəmiyyətlisi, artıq çərçivəni sadələşdirmək üçün modul FFU istifadə edilməlidir.
Hava axınının şaquli və bir istiqamətli olmasını təmin etmək üçün filtrin təzyiq düşməsi seçimi də çox vacibdir və filtr daxilində təzyiq itkisinin qərəzli olmaması tələb olunur.
(2) FFU sistemi və eksenel axın fan sistemi arasında müqayisə
FFU ventilyator və hepa filtri olan hava təchizatı qurğusudur. Hava FFU-nun mərkəzdənqaçma fanatı tərəfindən sorulur və dinamik təzyiqi hava kanalında statik təzyiqə çevirir. Hepa filtri ilə bərabər şəkildə üfürülür. Tavanda hava tədarükü təzyiqi mənfi təzyiqdir. Beləliklə, filtri dəyişdirərkən heç bir toz təmiz otağa sızmayacaq. Təcrübələr göstərmişdir ki, FFU sistemi hava çıxışının vahidliyi, hava axınının paralelliyi və ventilyasiya səmərəliliyi indeksi baxımından eksenel axın ventilyator sistemindən üstündür. Bunun səbəbi, FFU sisteminin hava axını paralelliyinin daha yaxşı olmasıdır. FFU sisteminin istifadəsi təmiz otaqda hava axınının təşkilini yaxşılaşdıra bilər.
(3) FFU-nun öz strukturunun təsiri
FFU əsasən fanatlar, filtrlər, hava axını təlimatları və digər komponentlərdən ibarətdir. Hepa filtri təmiz otaq üçün dizaynın tələb etdiyi təmizliyə nail olmaq üçün ən vacib zəmanətdir. Süzgəcin materialı da axın sahəsinin vahidliyinə təsir edəcək. Süzgəc çıxışına kobud filtr materialı və ya axın lövhəsi əlavə edildikdə, çıxış axını sahəsi asanlıqla vahid hala gətirilə bilər.
2. Sürətli interfeysin müxtəlif təmizliyə təsiri
Eyni təmiz otaqda, iş sahəsi ilə şaquli bir istiqamətli axınla işləməyən sahə arasında, hepa qutusundakı hava sürətindəki fərqə görə, interfeysdə qarışıq burulğan effekti meydana gələcək və bu interfeys turbulent olacaq. hava axını zonası. Hava turbulentliyinin intensivliyi xüsusilə güclüdür və hissəciklər avadanlıq maşınının səthinə keçə bilər və avadanlıqları və vafliləri çirkləndirə bilər.
3. Heyət və avadanlıqlara təsir
Təmiz otaq boş olduqda, otaqdakı hava axını xüsusiyyətləri ümumiyyətlə dizayn tələblərinə cavab verir. Avadanlıq təmiz otağa daxil olduqdan, insanlar hərəkət etdikdən və məhsullar daşındıqdan sonra, avadanlıq dəzgahından çıxan iti nöqtələr kimi hava axınının təşkilində qaçılmaz maneələr yaranır. Künclərdə və ya kənarlarda qaz turbulent axın sahəsi yaratmaq üçün yönləndiriləcək və ərazidəki maye daxil olan qaz tərəfindən asanlıqla daşınmayacaq və bununla da çirklənməyə səbəb olacaqdır.
Eyni zamanda, mexaniki avadanlığın səthi fasiləsiz işləmə səbəbindən qızdırılacaq və temperatur qradiyenti maşının yaxınlığında yenidən axın sahəsinə səbəb olacaq ki, bu da reflow sahəsində hissəciklərin yığılmasını artırır. Eyni zamanda, yüksək temperatur hissəciklərin asanlıqla çıxmasına səbəb olacaqdır. İkili effekt ümumi şaquli təbəqəni gücləndirir. Axının təmizliyinə nəzarətin çətinliyi. Təmiz otaqda olan operatorların tozu bu yenidən axıdılan ərazilərdə vaflilərə asanlıqla yapışa bilər.
4. Qayıdış havasının döşəməsinin təsiri
Döşəmədən keçən geri dönən havanın müqaviməti fərqli olduqda, təzyiq fərqi yaranacaq, havanın kiçik müqavimət istiqamətində axmasına səbəb olacaq və vahid hava axını əldə edilməyəcəkdir. Mövcud məşhur dizayn üsulu yüksək mərtəbədən istifadə etməkdir. Yüksək mərtəbənin açılış nisbəti 10% olduqda, hava axınının sürəti daxili iş hündürlüyündə bərabər paylana bilər. Bundan əlavə, döşəmədə çirklənmə mənbəyini azaltmaq üçün təmizlik işlərinə ciddi diqqət yetirilməlidir.
5. İnduksiya hadisəsi
İnduksiya adlanan fenomen vahid axına əks istiqamətdə hava axını yaratmaq, otaqda yaranan tozu və ya bitişik çirklənmiş ərazilərdə tozu küləkdən yuxarı tərəfə induksiya etmək və bununla da tozun vafli çirklənməsinə səbəb olmaq fenomeninə aiddir. Mümkün səbəbli hadisələrə aşağıdakılar daxildir:
(1) Kor lövhə
Şaquli bir tərəfli axını olan təmiz bir otaqda, divardakı birləşmələrə görə, ümumiyyətlə, turbulent axın və yerli geri axını yaradacaq böyük kor panellər var.
(2) Lampalar
Təmiz otaqda işıqlandırma qurğuları daha çox təsir edəcək. Floresan lampanın istiliyi hava axınının yüksəlməsinə səbəb olduğundan, flüoresan lampa turbulent sahəyə çevrilməyəcək. Ümumiyyətlə, təmiz otaqdakı lampalar, lampaların hava axınının təşkilinə təsirini azaltmaq üçün gözyaşardıcı formada dizayn edilmişdir.
(3) Divarlar arasında boşluqlar
Müxtəlif təmizlik tələbləri olan arakəsmə divarları və ya tavanlar arasında boşluqlar olduqda, aşağı təmizlik tələbləri olan ərazilərdən gələn toz yüksək təmizlik tələbləri olan bitişik ərazilərə ötürülə bilər.
(4) Mexanik avadanlıqla döşəmə və ya divar arasındakı məsafə
Mexanik avadanlıq və döşəmə və ya divar arasındakı boşluq kiçik olarsa, rebound turbulentliyi baş verəcəkdir. Buna görə, avadanlıq və divar arasında bir boşluq buraxın və yerlə birbaşa təmasdan qaçınmaq üçün maşın platformasını qaldırın.
Göndərmə vaxtı: 02 noyabr 2023-cü il