Çip istehsal sənayesində çip məhsuldarlığı çipdə saxlanılan hava hissəciklərinin ölçüsü və sayı ilə sıx bağlıdır. Yaxşı hava axını təşkilatı təmiz otaqdan toz mənbələrindən yaranan hissəcikləri çəkə və təmizliyin təmizliyini təmin edə bilər. Yəni təmiz otağın hava axını təşkilatı çip istehsalının məhsuldarlığında həyati rol oynayır. Təmiz otaq hava axını təşkilatı dizaynında əldə ediləcək məqsədlər: zərərli hissəciklərin tutulmaması üçün axın sahəsindəki süzgəci azaltmaq və ya aradan qaldırmaq; çarpaz çirklənmənin qarşısını almaq üçün müvafiq müsbət təzyiq gradientini qorumaq.
Təmiz otaq prinsipinə görə, hissəciklər üzərində hərəkət edən qüvvələr kütləvi qüvvə, molekulyar qüvvə, hissəciklər, hava axını qüvvəsi və s. Arasında cazibə daxildir.
Hava axını qüvvəsi: Təchizat və geri dönmə hava axınının, istilik konvekti hava axını, süni təşviqat və digər hava axını olan hissəcikləri daşımaq üçün müəyyən bir axın sürəti olan hava axınının qüvvəsinə aiddir. Təmiz otaq ətraf mühit texnologiyası nəzarəti üçün hava axını qüvvəsi ən vacib amildir.
Təcrübələr, hava axınının hərəkətində, hissəciklərin hava axını demək olar ki, eyni sürətlə izləyir. Havadakı hissəciklərin vəziyyəti hava axını paylanması ilə müəyyən edilir. Qapalı hissəciklərdəki hava axınının əsas təsiri aşağıdakılar daxildir: hava təchizatı hava axını (ilkin hava axını və ikincil hava axını da daxil olmaqla), hava axını və istilik konveksiya hava axını və proses əməliyyatları və sənaye avadanlıqları nəticəsində olan hissəciklərə hava axınının təsirini və hava axını da daxil olmaqla). Müxtəlif hava təchizatı metodları, sürət interfeysləri, operatorlar və sənaye avadanlığı, induksiya edilmiş hadisələr və s. Təmiz otaqlarda və s. Təmizlik səviyyəsinə təsir edən bütün amillərdir.
1. Hava təchizatı metodunun təsiri
(1) Hava təchizatı sürəti
Vahid hava axını təmin etmək üçün birtərəfli axın təmiz otağında hava təchizatı sürəti vahid olmalıdır; Hava təchizatı səthindəki ölü zona kiçik olmalıdır; HEPA filtrindəki təzyiqin düşməsi də vahid olmalıdır.
Hava təchizatı sürəti vahiddir: yəni hava axınının qeyri-bərabərliyi ± 20% arasında idarə olunur.
Hava təchizatı səthində daha az ölü yer var: HEPA çərçivəsinin təyyarə sahəsi azaldılmalıdır, lakin daha da əhəmiyyətlisi, lazımsız çərçivəni asanlaşdırmaq üçün modul FFU istifadə edilməlidir.
Hava axınının şaquli və birləşməsinin olmasını təmin etmək üçün filtrin təzyiqinin azaldılması da çox vacibdir və filtrdəki təzyiq itkisinin qərəzli olması tələb olunur.
(2) FFU sistemi və eksenel axın fan sistemi arasında müqayisə
FFU, bir fan və Hepa filtri olan bir hava təchizatı bölməsidir. Hava, FFU-nun mərkəzdənqaçma fanatı tərəfindən əmilir və dinamik təzyiqi hava kanalındakı statik təzyiqə çevirir. HEPA filtri tərəfindən bərabər şəkildə uçurulur. Tavana hava təchizatı təzyiqi mənfi təzyiqdir. Bu şəkildə, filtri əvəz edərkən toz təmiz otağa sızmayacaq. Təcrübələr, FFU sisteminin hava axını vahidliyi, hava axını paralelliyi və havalandırma səmərəliliyi indeksi baxımından eksenel axın fan sistemindən üstün olduğunu göstərdi. Bunun səbəbi, FFU sisteminin hava axını paralelizmi daha yaxşıdır. FFU sisteminin istifadəsi təmiz otaqda hava axını təşkilatını inkişaf etdirə bilər.
(3) FFU-nun öz quruluşunun təsiri
FFU əsasən azarkeşlər, filtrlər, hava axını təlimatları və digər komponentlərdən ibarətdir. HEPA filtri, dizaynla tələb olunan tələb olunan təmizliyə nail olmaq üçün təmiz otaq üçün ən vacib zəmanətdir. Filtrin materialı da axın sahəsinin vahidliyinə təsir edəcəkdir. Filtr otağına kobud bir filtr materialı və ya bir axın boşqab əlavə edildikdə, Outlet axın sahəsi asanlıqla forma geyilə bilər.
2. Sürətli interfeysin müxtəlif təmizlik ilə təsiri
Eyni təmiz otaqda, işçi sahəsi və qeyri-iş sahəsi arasında şaquli birləşmə axını arasında, HEPA qutusundakı hava sürətindəki fərq səbəbiylə qarışıq bir vortex effekti baş verəcək və bu interfeys bir halbulan olacaq hava axını zonası. Hava gərginliyinin intensivliyi xüsusilə güclüdür və hissəciklər avadanlıq maşınının səthinə ötürülə bilər və avadanlıq və gofreti çirkləndirə bilər.
3. İşçilərə və avadanlıqlara təsir
Təmiz otaq boş olduqda, otaqda hava axını xüsusiyyətləri ümumiyyətlə dizayn tələblərinə cavab verir. Avadanlıq təmizlik otağına girdikdən sonra insanlar hərəkət edir və məhsullar nəql olunur, hava axını təşkilatına, məsələn, avadanlıq maşınından çıxan iti nöqtələr kimi qaçılmaz dərəcədə maneələr var. Künclərdə və ya kənarlarında qazın içərisində olan bir axın sahəsi meydana gəlməsi üçün qaz yönəldiləcək və ərazidəki maye gələn qazdan asanlıqla aparılmayacaq və bununla da çirklənməyə səbəb olacaqdır.
Eyni zamanda, davamlı əməliyyat səbəbindən mexaniki texnikanın səthi qızdırılacaq və temperatur gradient, əks sahədə hissəciklərin yığılmasını artıran maşın yaxınlığında əks olunan bir əraziyə səbəb olacaqdır. Eyni zamanda, yüksək temperaturu asanlıqla hissəciklərin qaçmasına səbəb olacaqdır. İkili effekt ümumi şaquli təbəqəni gücləndirir. Axın təmizliyinə nəzarət etmək çətinliyi. Təmiz otaqdakı operatorlardan toz bu əks sahələrdə boşalmalara asanlıqla riayət edə bilər.
4. Qayıdış Hava Döşəməsinin təsiri
Döşəmə havasının mərtəbədən keçən dönüşün müqaviməti fərqli olduqda, təzyiq fərqi, kiçik müqavimət istiqamətində havanın axmasına səbəb olacaq və vahid hava axını əldə edilməyəcəkdir. Mövcud populyar dizayn metodu yüksəlmiş bir mərtəbədən istifadə etməkdir. Yüksək mərtəbənin açılış nisbəti 10% -dirsə, hava axını sürəti qapalı iş hündürlüyündə bərabər paylana bilər. Bundan əlavə, döşəmədə çirklənmə mənbəyini azaltmaq üçün təmizlik işlərinə ciddi diqqət yetirilməlidir.
5. induksiya fenomeni
Sözdə induksiya fenomeni, vahidi axınının əks istiqamətində, qonşu çirklənmiş ərazilərdəki otaqda yaranan toz və toz halına gətirən toz axınının, bununla da tozun çirklənməsinə səbəb olan tozun yaranmasına səbəb olur. Mümkün olan induksiya edilmiş hadisələr aşağıdakıları əhatə edir:
(1) kor boşqab
Şaquli bir tərəfli axını olan təmiz bir otaqda, divardakı oynaqlar səbəbindən, turbulent axını və yerli geri axını çıxaracaq ümumiyyətlə böyük bir kor panellər var.
(2) lampalar
Təmiz otaqda işıqlandırma qurğularının daha böyük təsir göstərəcəyi. Flüoresan lampanın istisində havanın yüksəlməsinə səbəb olduğu üçün flüoresan lampa sürətlə çevrilməyəcək. Ümumiyyətlə, təmiz otaqdakı lampalar, lampaların hava axını təşkilatına təsirini azaltmaq üçün gözyaşardıcı formada hazırlanmışdır.
(3) divarlar arasındakı boşluqlar
Müxtəlif təmizlik tələbləri olan arakəsmə divarları və ya tavanlar arasında boşluqlar olduqda, təmizlik tələbləri olan ərazilərdən toz yüksək təmizlik tələbləri olan bitişik ərazilərə köçürülə bilər.
(4) mexaniki avadanlıq və döşəmə və ya divar arasındakı məsafə
Mexanik avadanlıqlar və döşəmə və ya divar arasındakı boşluq kiçikdirsə, yenidən quruluşa çevriləcəkdir. Buna görə, avadanlıq və divar arasında bir boşluq qoyun və yerlə birbaşa təmas etməmək üçün maşın platformasını qaldırın.
Saat: Nov-02-2023